如何對無塵室微粒子濃度進行控制    上海

     無塵室無塵室的浮游微粒子濃度，若用高性能的送風系統即可達到零水平，然而實際的生產現場由于作業者、機器、周邊機械的發塵及基板運送時所接觸的零件材料的發塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，故造成了元件清潔面的粒子污染。無塵室內如何控制微粒子濃度呢？1、 不攜入 :人、機、料進無塵室不攜入微粒子（1）進入無塵室者在更衣室要穿著不發塵、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等， 再

無塵室

無塵室的浮游微粒子濃度，若用高性能的送風系統即可達到零水平，然而實際的生產現場由于作業者、機器、周邊機械的發塵及基板運送時所接觸的零件材料的發塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，故造成了元件清潔面的粒子污染。 

無塵室內如何控制微粒子濃度呢？

1、 不攜入 :人、機、料進無塵室不攜入微粒子 

（1）進入無塵室者在更衣室要穿著不發塵、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等， 再通過風淋室吹淋，高速干凈的氣流可除去附在衣服表面的粒子，吹淋完畢才能進入無塵室。

（2）機器、材料進無塵室前，應盡可能在密封狀態下帶進無塵室前室保養后用純水擦拭，經貨淋室吹淋或風淋傳遞窗吹淋后才能進入無塵室。 

（3）無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。 

2、不發生 :無塵室內動態環境下機、料的不發生控制；

在控制zui大污染源--人在無塵室內的微粒子發塵量的同時，也應控制第二大污染源—制造機臺的發塵量。因物品在移動時，所產生 的摩擦及接觸剝離會造成發塵，而物品在移動時也會有微粒子的發生。故為了控制發塵量達到zui小限度應采取以下對策： 

（1）減少接觸剝離發塵的動作形態； 

（2）采用磨耗發塵小的材質； 

（3）采用發塵小的潤滑油； 

3、不儲備： 

現實中人和物品的頻繁出入及機臺的掣動（動態），無塵室要想達到動態潔凈，因此“不儲備”技術快速地在過濾器中應用以除去已發生的微粒子變得重要。通常已發生的微粒子會依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發性的振動及不穩定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。 

控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內會使用帶電程度在數十伏以下的導電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態及接觸部品材料，并藉由除電裝置進 行除電。 

4、排除/除去 

在無法避免大量微粒子發生的機臺中，為了不讓無塵室內產生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：  

由于導入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣，而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內之對策。